滾筒等離子表面處理機

時間：2022-04-02

作者：煙臺金鷹科技有限公司

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詞條
詞條說明
晶圓光刻膠等離子清洗機及設備
在半導體器件生產過程中，晶圓芯片表面會存在各種微粒、金屬離子、有機物及殘留的磨料顆粒等沾污雜質，為了避免污染物對芯處理性能造成致致命影響和缺陷，在保證不破壞芯處理及其他輔助材料表面特性、電特性的前提下，半導體晶圓在制造過程中，需要經過多次的表面清洗步驟，而晶圓光刻膠plasma等離子清洗機是晶圓級和3D封裝應用的理想的干式清洗設備。晶圓光刻蝕膠等離子清洗機的應用：等離子應用包括預處理、灰化/光刻膠
等離子處理機，精密干式清洗
等離子清洗機適合于表面、清潔和對各種材料的改性，包括聚合物、金屬、玻璃和陶瓷。廣泛應用于活化，退鍍，改性，蝕刻，提升附著力和清洗等等功能。等離子清洗機設備也是目前清洗行業(yè)環(huán)保節(jié)能，有效性好的理想設備等離子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機，等離子表面處理機,電漿清洗機，plasma清洗機，等離子去膠機，等離子清洗設備
等離子清洗機，活化改性處理
等離子體清洗機表面處理用于改變各種材料的表面性質，使其容易粘合，膠合和涂漆。采用等離子體清洗機處理材料能夠清潔和激活表面，改善其粘附特性。等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場
plasma等離子清洗機設備的原理及應用
1何謂plasma等離子清洗機設備 ? plasma等離子清洗機設備采用氣體作為清洗介質，有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。plasma等離子清洗機設備外接一臺真空泵，工作時清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，短時間的清洗就可以使有機污染物被地清洗掉，同時污染物被真空泵抽走，其清洗程度達到分子級。等離子清洗器除了具有超清洗功能外，在特定條件下還可根據需要改變