用于半導體加工的超精密XY真空平臺。

時間：2022-10-21

作者：上海銳放自控技術有限公司

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詞條
詞條說明
光柵尺的概念
? ? ? 光柵尺，也稱為光柵尺位移傳感器（光柵尺傳感器），是利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經常應用于數控機床的閉環伺服系統中，可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數字脈沖，具有檢測范圍大，檢測精度高，響應速度快的特點。例如，在數控機床中常用于對刀具和工件的坐標進行檢測，來觀察和跟蹤走刀誤差，以起到一個補償刀具的運動誤差的作用。光柵尺按照制
掃描電子/聚焦離子束顯微鏡（SEM/FIB）-由Nanomotion設計和制造的X/Y/Theta/Z平臺。
掃描電子/聚焦離子束顯微鏡（SEM/FIB）-由Nanomotion設計和制造的X/Y/Theta/Z平臺。在清潔、真空環境中工作，具有納米級的定位穩定性。
光柵尺工作原理
? ?光柵尺，也稱為光柵尺位移傳感器或光柵尺傳感器，是通過利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經常應用于數控機床的閉環伺服系統中，可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數字脈沖，具有檢測范圍大，檢測精度高，響應速度快的特點。例如，在數控機床中常用于對刀具和工件的坐標進行檢測，來觀察和跟蹤走刀誤差，以起到一個補償刀具的運動誤差的作用。光柵尺工作原理以透射光柵為
由Nanomotion設計和制造的機載聚焦機構，用于獲取目標
由Nanomotion設計和制造的機載聚焦機構，用于獲取目標。受到飛行沖擊和振動的期間，能夠保證亞微米級定位和定位穩定性。Nanomotion的團隊具有豐富的工程資源，擁有超過100多年的精確運動控制經驗?？煽啃缘恼嬲饬繕藴适窃贜anomotion設計和制造的系統上評估我公司電機的性能。