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詞條說明
【上海真空泵廠家】真空泵的保養(yǎng)操作及維護(hù)時(shí)間表
真空泵保養(yǎng)操作:維護(hù)時(shí)間表真空泵維護(hù)時(shí)間間隔根據(jù)每個(gè)客戶工作環(huán)境而定。您可以根據(jù)您的實(shí)際使用狀況,縮短維護(hù)時(shí)間間隔,尤其是灰塵大的工作環(huán)境。Ⅰ?每日需要維護(hù)事項(xiàng):檢查油位及油的顏色。Ⅱ?每星期需要維護(hù)事項(xiàng):檢查真空泵是否漏油。Ⅲ?每月需要維護(hù)事項(xiàng):檢查排氣過濾器的功能,必要時(shí)請(qǐng)清洗或更換進(jìn)氣過濾器。Ⅳ?每6個(gè)月需要維護(hù)事項(xiàng):檢查真空泵泵腔是否有灰塵、污垢、積
真空泵不能啟動(dòng):主要表現(xiàn)為真空泵加電后不能啟動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)。這時(shí)應(yīng)首先檢查真空泵的電路部分,如保險(xiǎn)管是否燒毀、電路部分有沒有元?dú)饧龎摹T谂懦娐凡糠值墓收虾螅瑧?yīng)考慮以下兩個(gè)因素:?1、電機(jī)燒壞:主要為電機(jī)定子線圈燒毀,引起原因較多,如瞬間電流過大,電機(jī)軸承使用久了被磨損,致使軸承摩擦阻力變大,電機(jī)功率加大,引起溫度上升,燒毀電機(jī)。這時(shí)應(yīng)先檢查電機(jī)軸承,再檢查電機(jī)線圈。軸承損壞就換軸承;電機(jī)線圈
旋片式真空泵常見故障如下:1.泵不轉(zhuǎn)。情況不明不能先開泵,以免加重故障。用手能盤動(dòng)和不能盤動(dòng)。2.泵溫太高。指低級(jí)排氣閥附近測(cè)得的高油溫**過使用說明書值。由于泵溫升高會(huì)使泵油粘度大幅下降,并使泵油的飽和蒸汽壓升高,使泵的極限壓力升高和抽氣效率下降;使橡膠件*老化;熱膨脹使運(yùn)轉(zhuǎn)間隙縮小,特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內(nèi)孔間隙,影響泵運(yùn)轉(zhuǎn)的可靠性。泵溫太高的原因可以是泵溫度太高,進(jìn)氣溫度太高,
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
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