【旋片真空泵不能啟動】原因分析

時間：2021-07-24

作者：上海福豫機械設備有限公司

詞條
詞條說明
【工業真空泵】羅茨泵工作原理
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
【真空泵廠家】旋片式真空泵使用說明
單級旋片式真空泵-適用范圍旋片式真空泵使用說明：一.?首先在開箱時要檢查您所采購的旋片式真空泵在運輸過程中是否有損壞、是否符合使用要求。如您發現有所不理解，請馬上致電我公司銷售工程師二.?您在使用安裝調試旋片式真空泵前，請您仔細詳閱使用說明，嚴格按產品操作程序實施，并要注意先擰開加油螺塞從加油孔中加油至油標2/3，后從進氣管孔內加入少許泵油為加強泵腔內潤滑。油位過低對排氣閥不能
【上海真空泵廠家】旋片式真空泵的使用方法
旋片真空泵的使用方法1、使用前，應仔細閱讀產品使用說明書，開箱后應檢查裝運質量，收好備品備件和技術文件，拆除排氣品防護件。按要求安裝，接線，試轉向。水泠泵接水。2.為防止因返油與反轉而噴油，應先開啟泵口，按規定轉向把泵內存油用手盤到油箱中，同時查看油位，應在油標中心以上，但不要滿油標，多了要放3、判斷轉向的輔助方法,把護套倒放在家口上，如開系后被吸住，是正向，被攻落，是發向，聲音正常是正向，聲音異
【真空泵廠家】旋片真空泵的使用方法
旋片真空泵的使用方法1、使用前，應仔細閱讀產品使用說明書，開箱后應檢查裝運質量，收好備品備件和技術文件，拆除排氣品防護件。按要求安裝，接線，試轉向。水泠泵接水。2.為防止因返油與反轉而噴油，應先開啟泵口，按規定轉向把泵內存油用手盤到油箱中，同時查看油位，應在油標中心以上，但不要滿油標，多了要放3、判斷轉向的輔助方法,把護套倒放在家口上，如開系后被吸住，是正向，被攻落，是發向，聲音正常是正向，聲音異