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壓強范圍真空泵種類?工作壓強范圍(Pa)?起動壓強(Pa)活塞式真空泵?1×105~1.3×102?1×105旋片式真空泵?1×105—6.7×10-1?1×105水環式真空泵?1×105—2.7×103?1×105羅茨真空泵?1.3×103—1.3?1.3×103渦輪分子泵1.3—1.3×10-5
真空系統的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側面對器件質量產生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣
按性能特點和用途分類(1)低真空泵泵的極限壓力**102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復式真空泵、旋轉式真空泵、液環式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。(2)中真空泵極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉機械真空泵以及高速旋轉式機械真空泵等。(3)高真空泵極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真
真空泵的安裝1、安裝安裝場所寬闊、采光良好,空氣的相對濕度宜低,灰塵少,空氣清凈且通風良好。環境溫度:5—30攝氏度。環境壓力:大氣壓。預留保養空間,真空泵與墻之間至少須有1米以上距離,真空泵*空間距離應有1米以上,預留通道,以便維修保養。真空泵運作時,表面溫度可以達到72℃以上,小心燙傷。請確保真空泵的安放位置易于看見油位鏡。?2、配管、基礎主管路配管時,管路通徑不能小于真空泵的進氣
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