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羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
【上海旋片真空泵】真空泵操作須知1、旋片真空泵在長時間運轉中產生高溫(40度-80度)。因此操作或停止運行后,在電機和泵體冷卻到正常溫度以前,不能觸摸表面。2、工作時發生緊急情況,立即關閉總電源后保修解決。3、設備若異常應立即停止運行,禁止強灌,持續工作。4、非維修人員嚴禁拆卸真空泵零部件。5、維護保養設備所使用的布條碎布等集中放置到規定的堆放地點,防止雜物進入泵內。真空系統是指由真空泵、真空計及
旋片真空泵主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片真空泵的腔內偏心地安裝一個轉子,轉子外圓與泵腔內表面相切(二者有很小的間隙),轉子槽內裝有帶彈簧的二個旋片。?旋片真空泵的工作原理圖是怎樣的??旋片真空泵的工作原理:?旋片真空泵主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片真空泵的腔內偏心地安裝一個轉子,轉子外圓與泵腔內表面相切(二者有很小的間隙),轉子槽內
旋片式真空泵使用說明:1、與泵聯接的管道不宜過長,且不宜小于泵的進氣口徑。2、被抽氣體溫度不得**40℃,否則應把氣體冷至常溫。3、含有較多塵埃的氣體則應加以過濾,有腐蝕性及油起化學反應之氣體則應加氣體吸收及綜合裝置,如含水蒸氣過多,則應加去濕裝置,以防止泵油弄臟,影響其真空性能及泵的使用壽命。4、泵云裝過程中油溫不能**70℃,在正常工作時應聽到“嗒、嗒、嗒”之排氣聲,如有異聲或溫度驟升時應停止
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