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詞條說明
真空泵維護與保養:1.泵及其四周環境應經常保持清潔,防止雜物進入泵內。?2.泵的運轉過程中,油箱內的存油量不得**油標中心。?3.不同種類和牌號的真空泵油,不可混合使用。?4.泵在使用中,因系統損壞等特殊事故,進氣口突然暴露大氣時,應盡快停泵,并切斷與系統連接的管道,防止噴油、污染場地。?5.泵由于存放或使用不當,水份或其它揮發性物質進入泵內而影響極限真空時
真空泵的操作1、開機前的檢查檢查油位是否在MAX-MIN之間,潤滑油不可太多,亦或太少,不足時應補充。禁止混用不同牌號的潤滑油,補充潤滑油時,應確定系統內已經沒有壓力時,方可打開加油塞。接上電源線及接地線,測試電壓是否準確,電源是否無誤。?2、試車、開機與停機試車1.關閉進氣口。2.點動電機檢查真空泵的旋轉方向,如旋轉方向不對,則對調三相電源中的任意兩相。開機1.打開進氣口。2.合上電源
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
真空泵的操作1、開機前的檢查檢查油位是否在MAX-MIN之間,潤滑油不可太多,亦或太少,不足時應補充。禁止混用不同牌號的潤滑油,補充潤滑油時,應確定系統內已經沒有壓力時,方可打開加油塞。接上電源線及接地線,測試電壓是否準確,電源是否無誤。?2、試車、開機與停機試車1.關閉進氣口。2.點動電機檢查真空泵的旋轉方向,如旋轉方向不對,則對調三相電源中的任意兩相。開機1.打開進氣口。2.合上電源
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