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羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
真空泵維護與保養:1.泵及其四周環境應經常保持清潔,防止雜物進入泵內。?2.泵的運轉過程中,油箱內的存油量不得**油標中心。?3.不同種類和牌號的真空泵油,不可混合使用。?4.泵在使用中,因系統損壞等特殊事故,進氣口突然暴露大氣時,應盡快停泵,并切斷與系統連接的管道,防止噴油、污染場地。?5.泵由于存放或使用不當,水份或其它揮發性物質進入泵內而影響極限真空時
【上海真空泵旋片式】日常維護方法1、旋片式真空泵定期做保養時,將散熱油管及其它油路管拆卸下來進行清洗和疏通。2、當真空泵積碳嚴重時,必須進行大的維護保養工作,必要時需換油路管。因為,當真空泵積碳后,不知道油管內壁會有多厚的積碳。3、定期檢查油管是否漏油、穿孔等情況。如有發生,及時處理。4、散熱油管外表有一層散熱鰭片,該功能在風冷的情況下能好的降低真空泵溫度,達到穩定的真空度。故而在搬運、使用時小心
真空系統的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側面對器件質量產生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
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