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  • 納米氧化鈧粉體對半導(dǎo)體合金材料力學性能的強化作用

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  • 分析高純氧化鋯在半導(dǎo)體拋光液中的研磨機理與應(yīng)用

    高純氧化鋯在半導(dǎo)體拋光中的關(guān)鍵作用半導(dǎo)體制造對材料表面平整度有著近乎苛刻的要求,任何微小瑕疵都可能影響芯片性能。在這一精密加工過程中,高純氧化鋯憑借其*特的物理化學特性成為拋光液的**組分。作為研磨介質(zhì),高純氧化鋯顆粒具有顯著優(yōu)勢。其莫氏硬度達到8.5,接近藍寶石的硬度水平,能夠有效去除硅片表面的凹凸不平。較關(guān)鍵的是,氧化鋯顆粒在受力時會發(fā)生相變增韌效應(yīng),這種特性使其既能保證研磨效率,又不會對基底

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