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目前的MEMS壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器,兩者都是在硅片上生成的微機械電子傳感器。 硅壓阻式壓力傳感器是采用高精密半導體電阻應變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測量電路的,具有較高的測量精度、較低的功耗和較低的成本。惠斯頓電橋的壓阻式傳感器,如無壓力變化,其輸出為零,幾乎不耗電。其電原理。硅壓阻式壓力傳感器其應變片電橋的光刻版本。 MEMS硅壓阻式壓力傳感器采用周邊固定的圓形應
通過測量由于重力引起的加速度,你可以計算出設備相對于水平面的傾斜角度。通過分析動態加速度,你可以分析出設備移動的方式。加速度傳感器可以幫助機器人了解它現在身處的環境。加速度傳感器甚至可以用來分析發動機的振動,還可以測量牽引力產生的加速度。 目前筆記本電腦里就內置了加速度傳感器,能夠動態的監測出筆記本在使用中的振動,并根據這些振動數據,系統會智能地選擇關閉硬盤還是讓其繼續運行,這樣可以較大程度地保護
扭矩傳感器是對各種旋轉或非旋轉機械部件上對扭轉力矩感知的檢測。扭矩傳感器將扭力的物理變化轉換成精確的電信號。扭矩傳感器可以應用在制造粘度計,電動(氣動,液力)扭力扳手,它具有精度高,頻響快,可靠性好,壽命長等優點。 旋挖鉆機的功率相當比較大,而承受這個大的功率作用一個非常關鍵儀器上,也就是扭矩傳感器。旋挖鉆機上的扭矩傳感器一般量程都在120到400千牛米以上。 旋挖鉆機上較有份量儀器就是扭矩傳感器
力傳感器將力的量值轉換為相關電信號的器件。力是引起物質運動變化的直接原因。力傳感器能檢測張力、拉力、壓力、重量、扭矩、內應力和應變等力學量。具體的器件有金屬應變片、壓力傳感器等,在動力設備、工程機械、各類工作母機和工業自動化系統中,成為不可缺少的**部件。 稱重傳感器實際上是一種將質量信號轉變為可測量的電信號輸出的裝置。用傳感器應先要考慮傳感器所處的實際工作環境,這點對正確選用稱重傳感器至關重要,
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