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    物性數據 1、性狀:無色無味氣體。 2、熔點(℃):-51 3、沸點(℃):-64(升華) 4、相對密度(水=1):1.67(-100℃) 5、相對蒸氣密度(空氣=1):6.602 6、飽和蒸氣壓(kPa):2450(25℃) 7、臨界溫度(℃):45.6 8、臨界壓力(MPa):3.76 9、辛醇/水分配系數:1.68 10、溶解性:微溶于水,溶于乙醇、yi 醚 11、汽化熱(Kg/mol):

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    江蘇凱美電子材料有限公司是由一群專業人士組建,擁有多年的氣體行業經驗的專業化公司。 漲知識!帶你了解14類工業氣體 蝕刻氣體 蝕刻方式有濕法化學蝕刻和干法化學蝕刻。干法蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體, 通常多為氟化物氣體, 干法蝕刻由于蝕刻方向性強、工藝控制方便、無脫膠現象、無基片損傷和沾污, 所以其應用范圍日益廣泛。 摻雜氣體(Dopant Gases) 在半導體器件和集成電路制造中, 將某種或某些雜

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