*遠程微波PECVD系統(tǒng)

時間：2025-06-30作者：那諾-馬斯特中國有限公司瀏覽：196

那諾-馬斯特中國有限公司專注于磁控濺射系統(tǒng),刻蝕系統(tǒng),清洗去膠系統(tǒng)等

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  詞條說明

• 福州大學(xué)離子束刻蝕機順利驗收

  烈日炎炎，熱情滿心間！后疫情時代，NANO-MASTER工程師步履不停，一站接一站為客戶提供設(shè)備安裝調(diào)試服務(wù)。首站福州大學(xué)，那諾-馬斯特工程師已順利安裝驗收NIE-3500型離子束刻蝕機！性能配置：離子束刻蝕機用于刻蝕金屬和介質(zhì)，z大可支持6”晶圓。配套美國考夫曼-羅賓遜 KDC160離子槍，650mA，100-1200V。刻蝕速率：~250A/min對Au；刻蝕均勻度：對4”片，片內(nèi)均勻性**±

• 廣西師范大學(xué)RIE反應(yīng)離子刻蝕機順利驗收

  廣西師范大學(xué)RIE反應(yīng)離子刻蝕機順利驗收近日，NANO-MASTER工程師至廣西師范大學(xué)，順利安裝驗收NRE-3000型RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)！詳細參數(shù)：1.? 腔體：10”直徑的圓柱形腔體；陽極氧化鋁材質(zhì)，抗腐蝕性強；上下蓋設(shè)計，氣動升降頂蓋，一鍵實現(xiàn)上蓋的開啟/閉合；淋浴頭設(shè)計，較佳的氣流均勻分布2. 樣品臺：4”樣品臺；冷卻功能；偏壓功能，支持各向異性的垂直刻蝕；3. 質(zhì)量流量控制

• 恭祝ZN硅業(yè)NPE3500型PECVD順利驗收

  近日，NANO-MASTER工程師至浙江ZN硅業(yè)有限公司，順利安裝驗收NPE-3500型PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備！NANO-MASTER的PECVD系統(tǒng)能夠沉積高質(zhì)量的SiO2、Si3N4、CNT、DLC和SiC等薄膜。可應(yīng)用于等離子誘導(dǎo)表面改性、等離子清洗、等離子聚合等。根據(jù)不同應(yīng)用，可選用RF、HCP、ICP或MW微波等多種規(guī)格的離子源。標準樣品臺尺寸有6”和8”可選，較高可定制到1

• *遠程微波PECVD系統(tǒng)

  Nano-Master的遠程微波等離子體化學(xué)氣相沉積（PECVD）系統(tǒng)應(yīng)用范圍廣泛，包含：基片或粉體的等離子誘導(dǎo)表面改性等離子清洗粉體或顆粒表面等離子聚合SiO2,Si3N4或DLC及其他薄膜CNT和石墨烯的選擇性生長單晶或多晶金剛石生長???微波模塊：NANO-MASTER高質(zhì)量**命遠程微波源，頻率為2.45GH，微波**功率可以自主調(diào)節(jié)，微波反射功率可通過調(diào)節(jié)降