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氮化鋁靶材:半導體制造中的關鍵材料氮化鋁靶材在現代半導體工業中扮演著不可替代的角色,這種特殊材料因其獨特的物理化學性質而備受關注。作為薄膜沉積工藝的核心組件,它的性能直接影響著最終產品的質量與可靠性。這種靶材最顯著的特點是具有極高的熱導率和優異的電絕緣性能。在高溫工作環境下,它能保持結構穩定性,不會輕易發生變形或開裂。同時,其熱膨脹系數與硅基板匹配良好,這一特性在半導體封裝領域尤為重要,能有效減
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