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太陽能擴散爐


    青島福潤德微電子設備有限公司專注于鏈式爐排,全自動擴散爐,小型真空爐,加熱爐體,石棉圈,小型馬弗爐等

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    詞條說明

  • LPCVD設備

    LPCVD設備維修及應用 低壓化學氣相淀積設備使用與維護技術 LPCVD是大規模集成電路(LSI)和**大規模集成電路(VLSI)以及半導體光電器件工藝領域里的主要工藝之一。 PCVD技術可以提高淀積薄膜的質量,使膜層具有均勻性好、缺陷密度低、臺階覆蓋性好等優點,成為制備Si 3N4薄膜的主要方法。熱壁LPCVD設備使用過程中出現薄膜的淀積速率、薄膜的均勻性、片內均勻性、片間均勻性不理想等問題,提

  • 等離子增強化學氣相淀積系統(PECVD)

    ? 等離子增強化學氣相淀積系統(PECVD) PECVD(等離子增強化學氣相淀積)設備是一種用于在基片上生成高質量SiNx和SiO2薄膜的**設備。淀積溫度范圍寬( 100~600oC可調),特別適用于半導體器件和集成電路的鈍化,用以提高器件和集成電路可靠性。目前,它已成為微電子和光電子領域科研和生產不可缺少的設備。 產品特點: 1、膜質量高。它不同于通常使用的翻蓋式單室機(易漏大氣而

  • 石英領

    ?石英軟領為進口石英纖維棉采用德國加工工藝制成,用于擴散爐和PECVD設備中爐體和石英管之間的隔熱保溫,解決了以往用保溫棉存在的兩大問題:一是保溫棉長時間在高溫下出現粉化脫落從而影響工作腔體潔凈度,二是手動堵塞保溫棉不均勻,影響工作區溫度穩定性和均勻性。本產品可長期使用在高溫下,不粉化,不變形,不硬化,不氧化,防震,防腐蝕。

  • (單管程序氧化爐)

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